氦质谱检漏仪_真空氦检漏设备_分子泵机组-北京科创鼎新真空技术有限公司

氦气检漏仪的工作原理是什么？

2020.08.28

主要有离子源、分析器、收集放大器、冷阴电离真空计组成，离子源是气体电离，形成一束具有特定能量的离子，分析器是一个均匀的磁场空间，不同离子的质荷比不同；在磁场中就会按照不同轨道半径运动而进行分离，再设计时只让氦离子飞出分析器的缝隙；打在收集器上，收集放大器收集氦离子流并出入到电流放大器，通过测量离子流就可知漏率。

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上一条：真空氦质谱检漏原理与方法综述

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